گاهی اوقات (به ویژه در زمینه های رشد تک کریستالی) که انتقال بخار فیزیکی (PVD) نامیده می شود، انواع روش های رسوب در خلاء را توصیف می کند که می تواند برای تولید لایه ها و پوشش های نازک استفاده شود.